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簡要描述:ZP3-4 微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動。
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產(chǎn)品描述
ZP3-4微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。
△ 探針數(shù)量:4個探頭,每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度:每個探頭獨立驅(qū)動(X、Y、Z三自由度);
△ 運動:壓電驅(qū)動;
△ 步進(jìn)速度:2 mm/s(X,Y,Z);
△ 運動范圍:20x20mm(X,Y),10mm(Z);
△ 運動分辨率:1 nm (X、Y),10nm (Z);
△ 探針規(guī)格:針柄直徑為0.51mm(0.020’’);
△ 快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定
ZP3-4微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動。
△ 使用場景多樣化
ZP3-4微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運動行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺,真空室,光學(xué)試驗臺等工作條件。
△ 完善的技術(shù)解決方案
ZP3-4微納探針臺與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。
△ 直觀、方便
ZP3-4微納探針臺通過手柄控制,具有多級宏觀調(diào)速,脈沖運動,以及位移微調(diào)功能,宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s,單點脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運動分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,準(zhǔn)確。
△ 高度集成
ZP3-4微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實現(xiàn)圖像快照,尺寸測量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。
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