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簡要描述:手動探針臺系統(tǒng),可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺
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產(chǎn)品描述
手動探針臺系統(tǒng),可定制手動探針臺系統(tǒng),整套系統(tǒng)包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等配置如下:
序號 | 項目 | 說明 |
1 | 探針臺主體 | 可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺 |
2 | 顯微鏡 | 舜宇三目連續(xù)變倍體視鏡,LED環(huán)形照明光學(xué)變倍總倍率 45倍,物鏡 0.7~4.5倍連續(xù)變倍可選配高清攝像頭,總放大倍率約700倍 |
3 | 針座 | 磁性吸附底座,XYZ移動范圍:12mm移動分辨率 2um標(biāo)配4個,最多可裝6個 |
4 | 探針線纜 | 低漏電探針設(shè)計,漏電流低于100fATriax 標(biāo)準(zhǔn)接口輸出,Keithley原裝低噪聲 Triax 線纜 |
5 | 探針 | 低漏電探針設(shè)計,針尖直徑標(biāo)配10um,最小1um |
6 | 尺寸和自重 | 尺寸:450mmW*450mmD*500mmH;自重:約 30Kg。 |
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