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體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 超高真空微型光柵尺SMG26特點(diǎn),體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,絕對(duì)精度3μm(20℃)
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